保护膜与其镀膜方法

摘要

保护膜与其镀膜方法。此保护膜镀膜方法系用以于基材上形成低电阻率之保护膜。在此保护膜镀膜方法中，首先进行混合步骤，以将复数种金属气体混合，其中这些金属气体之原子具有二种以上的尺寸。这些金属气体由银、镁、铝所组成，或者由银、铜、铝所组成，或者由铜、镍、铝所组成。接着，进行沉积步骤，以将混合气体沉积于基材上，而形成非晶质金属膜于基材上，其中非晶质金属膜之原子排列方式为短程有序(short-range order)。然后，进行退火步骤，以对非晶质金属膜进行退火，而形成具有均匀分布之微米晶粒的金属膜来作为上述之保护膜。

主权项

一种保护膜，由复数种金属材料所组成，其中：该些金属材料为介稳态，且原子排列方式为短程有序(short-range order)，其中该些金属材料由银、铜、铝所组成，或由铜、镍、铝所组成。