| 发明名称 |
机差统计制程管制品质监测方法及其装置 |
| 摘要 |
明机差统计制程管制品质监测方法，其系包括：一机差统计模组，其系以机差为基准之统计模组；以及一判断模组，其系以基差为基准之一定倍数之变异系数之区间作为判断区域，于该区域内为可接受之机差状态，超过这个判断区域则为不可接受之机差状态；藉此，可以执行以机差为基准的统计制程管制品质监测，而能讯速过滤变异大的机台，或加以改进变异大的机台，以达到提升产品品质的目的。 |
| 申请公布号 |
TW201613003 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
| 申请号 |
TW103132178 |
申请日期 |
2014.09.17 |
| 申请人 |
朱辛宏 |
发明人 |
朱辛宏 |
| 分类号 |
H01L21/66(2006.01);G06Q50/04(2012.01) |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
林正伟 |
| 主权项 |
【第1项】一种机差统计制程管制品质监测方法，其系包括：一机差统计模组，其系以机差为基准之统计模组；以及一判断模组，其系以基差为基准之一定倍数之变异系数之区间作为判断区域，于该区域内为可接受之机差状态，超过这个判断区域则为不可接受之机差状态；藉此，可以执行以机差为基准的统计制程管制品质监测，而能讯速过滤变异大的机台，或加以改进变异大的机台，以达到提升产品品质的目的。 |
| 地址 |
新北市林口区文化三路2段115巷48号8楼 |
