| 发明名称 |
判定反应室之介电面上的导电膜之出现 |
| 摘要 |
态样中，一电浆系统包含一介电质的外壳，其包围反应腔室的一部分、一导电线圈，沿该外壳之周围延伸、及一产生器，用于将第一电子信号提供给该线圈以使电浆在该反应腔室中产生。该系统此外包含一设置于该反应腔室内之探针、一感测装置，用于感测当第一电子信号被提供给该线圈时经由该电浆在该探针中所产生的第二电子信号、及一处理单元，用于判定基于所感测之第二电子信号的测度，该测度指示该外壳的内侧表面上的导电材料之沉积或移除的程度。 |
| 申请公布号 |
TW201612955 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
| 申请号 |
TW104119202 |
申请日期 |
2015.06.15 |
| 申请人 |
兰姆研究公司 |
发明人 |
迦利 费德里科 |
| 分类号 |
H01L21/26(2006.01);H01L21/283(2006.01);H01J37/32(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/26(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
许峻荣 |
| 主权项 |
一种系统，包含： 一电浆系统，包含： 一介电质的外壳，包围反应腔室的一部分； 一导电的线圈，沿该外壳之周围延伸；及 一产生器，用于将第一电子信号提供给该线圈以使电浆在该反应腔室中产生； 一设置于该反应腔室内之探针，至少当第一电子信号被提供给该线圈时，该探针与电接地电性绝缘； 一感测装置，用于感测当第一电子信号被提供给该线圈时经由该电浆在该探针中所产生的第二电子信号；及 一或更多处理单元，用于判定基于所感测之第二电子信号的测度，该测度指示该外壳的内侧表面上之导电材料的沉积或移除之程度。 |
| 地址 |
美国 |
