图案形成体的制造方法

摘要

明提供一种图案缺陷经抑制的图案形成体的制造方法。本发明的图案形成体的制造方法包括：将光硬化性组成物应用于基材上或具有图案的模具上而形成图案形成层，于藉由基材与模具夹持图案形成层后，对图案形成层照射光而使图案形成层硬化，自经硬化的图案形成层的表面使模具脱模而形成图案的步骤；于将所得的图案的凹部中的源自光硬化性组成物的膜去除或薄膜化后，进行加热处理的步骤。

主权项

一种图案形成体的制造方法，其包括： 将光硬化性组成物应用于基材上或具有图案的模具上而形成图案形成层，并于藉由所述基材与所述模具夹持所述图案形成层后，对所述图案形成层照射光而使所述图案形成层硬化，自所述经硬化的图案形成层的表面使所述模具脱模而形成图案的步骤；以及 于将所述图案的凹部中的源自所述光硬化性组成物的膜去除或薄膜化后，进行加热处理的步骤。