发明名称 图案的评价方法、多成分物质的评价方法、评价程式、以及评价装置
摘要 明课题在于可提升多成分物质的评价精度及效率。
申请公布号 TWI528033 申请公布日期 2016.04.01
申请号 TW101119812 申请日期 2012.06.01
申请人 津村股份有限公司 发明人 森芳和;野田桂一
分类号 G01N30/86(2006.01);G01N30/88(2006.01);G06F17/18(2006.01) 主分类号 G01N30/86(2006.01)
代理机构 代理人 洪尧顺
主权项 一种图案的评价方法,具备:图案取得制程,取得峰值依时间序列变化之评价对象的对象图案;峰值图案作成制程,在对应前述对象图案的归属对象峰值与前述对象图案且成为峰值依时间序列变化的评价基准之基准图案中,分别针对设定有与前述归属对象峰值的出现时间之差的范围内的归属候补峰值,藉由包含存在于时间轴方向前后位置中之至少一个位置的周边n根峰值在内的总共n+1根峰值,作成峰值图案;峰值归属制程,比较前述归属对象峰值与前述归属候补峰值的峰值图案,并特定具对应关系的前述归属对象峰值与前述归属候补峰值;以及评价制程,比较评价该峰值归属制程中特定而归属的峰值以及成为评价基准之复数个基准图案的峰值。
地址 日本