| 主权项 |
一种基板处理装置，其包含：基板保持单元，其一面保持基板一面使之旋转；药液喷嘴，其朝保持于上述基板保持单元之基板吐出药液；筒状之处理液捕获单元，其接取自上述基板保持单元所保持之基板飞散之处理液；循环配管，其形成供药液槽内之药液循环之循环路径，该药液槽贮存供给至上述药液喷嘴之药液；供给配管，其将自上述药液槽供给至上述循环配管之药液朝上述药液喷嘴导引；供给阀，其可切换为使于上述供给配管内朝上述药液喷嘴流动之药液通过之开放状态、及停止自上述供给配管朝上述药液喷嘴之药液供给之关闭状态；回收配管，其自上述处理液捕获单元朝上述药液槽导引药液；及分歧配管，其将上述循环配管内之药液朝上述回收配管导引。
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