| 摘要 |
明之静电夹头之制造方法，包括：(a)藉由于成型模中填入包含陶瓷粉、溶剂、分散剂与胶凝剂之陶瓷浆料，于上述成型模中使上述胶凝剂进行化学反应，使上述陶瓷浆料胶状化后进行脱膜，以制作第1与第2陶瓷成型体之步骤；(b)藉由将上述第1与第2陶瓷成型体乾燥后进行脱脂，进而进行煅烧，以制作第1与第2陶瓷煅烧体之步骤；(c)假设上述第1陶瓷煅烧体将形成静电夹头之介电层的话，于上述第1或第2陶瓷煅烧体之一表面上印刷静电电极用浆料，以作为静电电极之步骤；以及(d)藉由将上述第1与第2陶瓷煅烧体重叠，以夹住上述静电电极之状态下，进行热压烧成，以制作陶瓷烧结体之步骤。
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