发明名称 树脂黏合线锯用之接着剂组合物及树脂黏合线锯之制造方法
摘要 明欲提供一种效率良好地制造使晶锭切割步骤稳定化、平滑且由切割引起之晶圆表面之损伤层之厚度较小之树脂黏合线锯的方法,及适用于该方法之树脂黏合线锯用之接着剂组合物。本发明系一种树脂黏合线锯用之接着剂组合物,其系用于在金属芯线表面经由树脂黏合剂而固着研磨粒而成之树脂黏合线锯之制造中者,且以 为必需成分;本发明系一种树脂黏合线锯之制造方法,其包含将包含上述接着剂组合物、研磨粒、及溶解上述接着剂组合物之溶剂而成之浆料涂布于金属芯线表面,并以包含近红外线之红外线加热所涂布之浆料,使上述接着剂组合物发生交联反应之加热步骤。
申请公布号 TWI527666 申请公布日期 2016.04.01
申请号 TW101125913 申请日期 2012.07.18
申请人 TKX股份有限公司 发明人 池内正彦;远藤忠
分类号 B24D3/28(2006.01);C09J161/06(2006.01);H01L21/304(2006.01) 主分类号 B24D3/28(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项 一种树脂黏合线锯用之接着剂组合物,其系用于在金属芯线表面经由树脂黏合剂固着研磨粒而成之树脂黏合线锯之制造中者;且以 为必需成分。
地址 日本