磨光装置

摘要

磨光装置，系用来把基板(例如，半导体晶圆)磨光成平面镜成品。该磨光装置包含：有磨光表面的磨光平台；顶环主体，系经组态成保持基板并使该基板按压该磨光表面；固定环，系装设于该顶环主体之外周边部份且经组态成按压该磨光表面；以及，固定环导件，系固定于该顶环主体且经组态成与该固定环之环圈构件滑动接触以导引该环圈构件的运动。该环圈构件与该固定环导件中会彼此滑动接触的滑动接触表面中之任一者系包括低磨擦材料。

主权项

一种用于磨光基板的装置，系包括：磨光平台，具有磨光表面；顶环主体，系保持基板并压押于该磨光表面；固定环，系装设于该顶环主体之外周部份，且压押该磨光表面；以及，固定环导件，系固定于该顶环主体且滑动接触于该固定环之环圈构件以导引该环圈构件的上下运动；其中，该环圈构件与该固定环导件彼此滑动接触的滑动接触表面之任一者以低磨擦材料构成；该低磨擦材料系磨擦系数为0.35以下之低磨擦系数的材料。