观察支援装置、观察支援方法及观察支援系统

摘要

明提供一种观察支援装置、观察支援方法及观察支援系统。观察支援方法包括：准备表示基材上的图案的图案图像，所述基材具有周期性地排列的多个元件、及将元件间加以连接的多个配线；受理将所述图案图像的表示所述图案的图案区域中的一个位置指定为指定位置的输入；将所述图案区域中与所述指定位置相连的区域特定为特定区域；以及能够识别所述特定区域并且使所述图案图像显示于显示部。由此，能够使作业人员容易识别图案区域中与指定位置相连的区域，从而可适当支援作业人员对图案图像的观察。

主权项

一种观察支援装置，用于支援对表示具有周期性的图案的图像的观察，所述观察支援装置包括： 储存部，储存表示基材上的图案的图案图像，所述基材具有周期性地排列的多个元件、及将元件间加以连接的多个配线； 显示部，显示图像； 输入受理部，受理将所述图案图像的表示所述图案的图案区域中的一个位置指定为指定位置的输入； 区域特定部，将所述图案区域中与所述指定位置相连的区域特定为特定区域；以及 显示控制部，识别所述特定区域并且使所述图案图像显示于所述显示部。