三轴加速度计

摘要

三轴加速度计，可同时量测X/Y/Z三方向加速度，包括一基板，一个悬浮于该基板的质量块，一组Y方向位移侦测电极，一组Z方向位移侦测电极，以及一组X方向位移侦测电极，该Y方向位移侦测电极、该Z方向位移侦测电极与该X方向位移侦测电极设于该基板上，邻近该质量块之处；其中，该质量块与各方向位移侦测电极分别包括多数金属层与介于任二金属层间的介电层；该质量块中，对应于各该方向位移侦测电极之部分，分别有至少二金属层以通孔连接。各该方向位移侦测电极均包括至少二组电极，各组包括至少二层以通孔连接之金属层。该Y方向位移侦测电极与该Z方向位移侦测电极提供于一结构体之第一部分，而该X方向位移侦测电极提供于该结构体的第二部分。

主权项

一种三轴加速度计，包括：一基板，一个悬浮于该基板的质量块，一Y方向位移侦测电极，一Z方向位移侦测电极，以及一X方向位移侦测电极；该Y方向位移侦测电极、该Z方向位移侦测电极与该X方向位移侦测电极设于该基板上，邻近该质量块之处；该Y方向与X方向代表该质量块所在平面上之两直交方向，且该Z方向代表垂直于该平面之方向；其中，该质量块、该Y方向位移侦测电极、Z方向位移侦测电极与X方向位移侦测电极分别包括至少两金属层与介于任二金属层间的介电层；该质量块中，对应于该Y方向位移侦测电极、该Z方向位移侦测电极与该X方向位移侦测电极之部分，分别有至少二金属层以通孔(via)连接；该Y方向位移侦测电极、该Z方向位移侦测电极与该X方向位移侦测电极均包括至少二组电极，各组包括至少二层以通孔连接之金属层；且该Y方向位移侦测电极与该Z方向位移侦测电极提供于一结构体之第一部分，而该X方向位移侦测电极提供于该结构体的第二部分。