| 发明名称 |
同电子扫描式显微镜影像注册电脑辅助设计资料 |
| 摘要 |
影像处理的方法，包括提供被制造在基板上的结构之显微镜影像及在制造该结构中使用的电脑辅助设计(CAD)资料。由电脑处理该显微镜影像，以便产生第一方向性图，对于该显微镜影像中一个矩阵的点来说，该第一方向性图包括对应于在该等点的边缘之量值和方向的各别方向性向量且与该等量值之符号无关。由该电脑处理该CAD资料，以便基于该CAD资料产生模拟影像并基于该模拟影像产生第二方向性图。该电脑比较该第一和第二方向性图，以便同该CAD资料注册该显微镜影像。
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| 申请公布号 |
TW201612506 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
| 申请号 |
TW104122951 |
申请日期 |
2015.07.15 |
| 申请人 |
应用材料以色列公司 |
发明人 |
崔瓦兹班德伊薛;伊凡琴科彦;雷维戴丹尼尔;兹维提亚奥利;凯萨门亚当 |
| 分类号 |
G01N21/956(2006.01);G01M11/02(2006.01);G06F17/50(2006.01) |
主分类号 |
G01N21/956(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
| 主权项 |
一种影像处理的方法，包含以下步骤：提供被制造在一基板上的一结构之一显微镜影像及在制造该结构中使用的电脑辅助设计(CAD)资料；由一电脑处理该显微镜影像，以便产生一第一方向性图，对于该显微镜影像中一矩阵的点来说，该第一方向性图包含对应于在该等点的边缘之量值和方向的各别方向性向量且与该等量值之符号无关；由该电脑处理该CAD资料，以便基于该CAD资料产生一模拟影像并基于该模拟影像产生一第二方向性图；以及由该电脑比较该第一和第二方向性图，以便同该CAD资料注册该显微镜影像。
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| 地址 |
以色列 |
