使用蒸气刀歧管用于马兰哥尼基板乾燥的方法及装置

摘要

明提供用于马兰哥尼蒸气刀组件(Marangoni vapor knife assembly)之方法及装置。该组件包括：基底，该基底具有纵向延伸穿过该基底之沟道及自该沟道朝向该基底之外部面横向延伸之复数个通道；顶板，该顶板适于可移除地耦接至该基底，其中该顶板之外部面与该基底之该外部面齐平；及填隙片，该填隙片适于安置于该基底与该顶板之间，且进一步适于在该组件中形成复数个喷孔。本发明揭示了众多额外特征。

主权项

一种马兰哥尼蒸气刀组件，该组件包含：一基底，该基底具有纵向延伸穿过该基底之一沟道及自该沟道朝向该基底之一外部面横向延伸之复数个通道；一顶板，该顶板可移除地耦接至该基底，该顶板之一外部面与该基底之该外部面齐平；以及一填隙片，该填隙片安置于该基底与该顶板之间，且该填隙片在该组件中形成复数个喷孔。