发明名称 Verfahren zum Messen eines Brechungsindex, Brechungsindexmesseinrichtung, und Verfahren zum Herstellen eines optischen Elements
摘要 Der Brechungsindex eines Testobjekts wird mit hoher Präzision gemessen. Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Messen eines Brechungsindex eines Testobjekts durch Aufteilen von Licht aus einer Lichtquelle in Testlicht und Referenzlicht und Messen eines Interferenzlichts, das sich aus einer Interferenz zwischen dem Referenzlicht und dem Testlicht, das durch das Testobjekt transmittiert wird, ergibt. In dem Verfahren ist das Testobjekt in einem Medium angeordnet, dessen Gruppenbrechungsindex gleich einem Gruppenbrechungsindex des Testobjekts bei einer bestimmten Wellenlänge ist, Interferenzlicht wird gemessen, die bestimmte Wellenlänge wird basierend auf einer Wellenlängenabhängigkeit einer Phasendifferenz zwischen dem Testlicht und dem Referenzlicht bestimmt, und der Gruppenbrechungsindex des Mediums entsprechend der bestimmten Wellenlänge wird als der Gruppenbrechungsindex des Testobjekts entsprechend der bestimmten Wellenlänge berechnet.
申请公布号 DE112014003029(T5) 申请公布日期 2016.03.31
申请号 DE20141103029T 申请日期 2014.06.18
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 SUGIMOTO, TOMOHIRO
分类号 G01N21/45;G01M11/00 主分类号 G01N21/45
代理机构 代理人
主权项
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