偏光測定デバイス、リソグラフィ装置、測定構成体、及び偏光測定方法

摘要

反射体（１２、５８）及び検出器（１４、２０）を備えた光ビーム（１６、４６）の偏光を求める偏光測定デバイス（１０）が開示される。反射体（１２、５８）は、光ビーム（１６、４６）を反射する役割を果たし、反射体（１２、５８）は、光ビーム（１６、４６）の光線の入射面が場所依存的に変わるよう構成されることで、光ビーム（１６、４６）の異なる偏光成分を入射面に応じて異なる程度に反射する。検出器（１４、２０）は、異なる偏光成分を検出する役割を果たす。【選択図】図２Ａ