流動床反応器のための高温グレードの鋼

摘要

加熱シリコン堆積反応器に用いられる反応チャンバライナーの態様が開示されている。ライナーは、上側部分と、ステンレス鋼合金以外の材料から成る部分と、マルテンサイト系ステンレス鋼合金を含む下側部分とを備える。ライナーの上側部分の組成は、下側部分の組成と略同一である。