| 摘要 |
Verfahren zum Kalibrieren einer ein Innenvolumen (20) umschließenden Prüfkammer, die als Folienkammer (12) mit mindestens einem flexiblen Wandbereich (14, 16) ausgebildet ist und gasleitend mit einem Drucksensor (30), einer Vakuumpumpe (26) und über ein Kalibrierventil (34) mit einer ein Kalibriervolumen (37) umschließenden Kalibrierkammer (36) verbunden ist, mit den Schritten: Evakuieren der Folienkammer (12), Messen der Druckänderung innerhalb der Folienkammer (12), nachdem das Evakuieren abgeschlossen ist, gasleitendes Verbinden des Kalibriervolumens (37) mit dem Innenvolumen (20) der Folienkammer (12) während der Messung der Druckänderung, wobei der Druck in der Kalibrierkammer (36) vor dem Verbinden mit der Folienkammer (12) größer ist als der Druck in der Folienkammer (12). Eine entsprechende Vorrichtung wird ebenfalls bereitgestellt. |
