超音波トランスデューサ用圧電フィルムの調製及び利用

摘要

本発明によれば超音波トランスデューサの作製方法が提供される。圧電ポリマーが、第１及び第２の化学物質を含有する溶液中に混入されて粘性フィルムが形成される。ある実施態様では第１化学物質はメチルエチルケトン（ＭＥＫ）を含み、第２化学物質はジメチルアセトアミド（ＤＭＡ）を含む。他の実施態様では第１化学物質はシクロヘキサンを含み、第２化学物質はジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）を含む。フィルムはウェハ上にコーティングされ、次いでコーティング中にフラッシュオフされる。その後フィルムは焼き付けされる。第２化学物質は焼き付け中に除去される。次いで、フィルムは焼鈍される。ある実施態様では焼鈍は約１３５℃〜約１４５℃の範囲の焼鈍温度を使用して実施され、焼鈍時間長は約１７〜約１９時間の範囲である。焼鈍後のフィルムは５０％より大きいβ相結晶度を有する。