| 发明名称 |
Spannungsisolierungsplattform für MEMS-Bauelemente |
| 摘要 |
Ein MEMS-Produkt enthält eine gegen Spannungen isolierte MEMS-Plattform, die von einem Entspannungszwischenraum umgeben wird und von einem Substrat aufgehängt ist. Der Entspannungszwischenraum stellt eine Sperre gegen die Übertragung von mechanischer Spannung vom Substrat an die Plattform bereit. |
| 申请公布号 |
DE102015116556(A1) |
申请公布日期 |
2016.03.31 |
| 申请号 |
DE201510116556 |
申请日期 |
2015.09.30 |
| 申请人 |
ANALOG DEVICES INC. |
发明人 |
XIN, ZHANG;MOLNAR, GEORGE M.;JUDY, MICHAEL W.;NEEDHAM, CHRISTOPHER R.;JIA, KEMIAO |
| 分类号 |
B81B7/02;B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08 |
主分类号 |
B81B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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