| 摘要 |
본 발명의 표면 처리 장치(100)는 희석 가스 공급 장치(1)와, 불소 가스 공급 장치(2)와, 희석 가스와 불소 가스를 혼합하는 혼합기(5)와, 혼합기(5)에서 생성한 혼합 가스를 사용하여 피처리물을 처리하는 반응기(6)를 구비하고 있으며, 희석 가스 공급 장치로부터 공급한 희석 가스를 가열기(8)에서 가열하고, 가열한 희석 가스와 불소 가스 공급 장치로부터 공급한 불소 가스를 혼합기(5)에서 혼합하며, 혼합된 가스는 반응기(6)로 보내어지고, 반응기(6) 내의 가스는 배기 장치(207)에 의해 반응기(6)로부터 유로(219, 220, 221, 222)로 인도되며, 밸브(223, 224, 225, 226)가 차례로 개방되고 반응기(6) 내의 가스의 유량을 유로(219, 220, 221, 222)를 사용함으로써 조정하면서 반응기(6) 내의 가스가 제해 장치(208)로 보내어지는 것을 특징으로 한다. |
