| 摘要 |
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Oberflächen oder Oberflächenabschnitten zweier Keramikteile umfasst: Bereitstellen (110) eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils; Bereitstellen (130) eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Vakuumlötprozess, wobei erfindungsgemäß das gesamte Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils durch ein Sputterverfahren (130) bereitgestellt wird, wobei zumindest ein Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile, vorzugsweise beider Keramikteile, mit einer Schichtfolge (131, 132, 133) der einzelnen Komponenten des Aktivhartlotmaterials beschichtet wird, wobei die mittlere Stärke der Schichten einer einzelnen Komponente des Aktivhartlots nicht mehr als 0,5 %, insbesondere nicht mehr als 0,2%, vorzugsweise nicht mehr als 0,1% und besonders bevorzugt nicht mehr als 0,05% der Stärke der Fügestelle beträgt. |
