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Prüfvorrichtung (3, 4, 5, 3', 4', 5') zum Übertragen von Prüfsignalen von einem Prüfgerät zu einem IC-Wafer zum Erfassen von elektrischen Eigenschaften des IC-Wafers, wobei die Prüfvorrichtung (3, 4, 5, 3', 4', 5') umfasst: ein Gestell (30, 30', 80'), wobei das Gestell (30, 30', 80') eine obere Oberfläche (301) und eine der oberen Oberfläche abgewandte untere Oberfläche (302) aufweist, wobei das Gestell (30, 30', 80') ein erstes Stützelement (36, 31', 81') und ein zweites Stützelement (35, 32', 82') umfasst, das durch das erste Stützelement umgeben wird, worin das erste Stützelement des Gestells (30, 30', 80') mindestens einen Ringbereich (32) und mehrere radiale Rippen (33) umfasst, worin das Gestell mehrere Lücken (33') umfasst, die zwischen dem ersten Stützelement und dem zweiten Stützelement vorliegen, eine Leiterschicht (40, 45, 70, 40', 45'), die an der oberen Oberfläche des Gestells (30, 30', 80') angebracht ist und an dem ersten Stützelement gestützt wird, wobei die Leiterschicht (40, 45, 70, 40', 45') mehrere Prüfkontakte (41, 45, 70, 40', 45') für eine elektrische Verbindung mit dem Prüfgerät umfasst, wobei der Querschnittsbereich der Anordnung des mindestens einen Ringbereichs und der radialen Rippen dem transversalen Querschnittsbereich der Leiterschicht (40, 45, 70, 40', 45') entspricht und mit einer horizontalen Oberfläche der Leiterschicht (40, 45, 70, 40', 45') in Kontakt gehalten wird, eine Fühleranordnung (50, 55, 80, 50', 70', 90'), wobei die Fühleranordnung (50, 55, 80, 50', 70', 90') mehrere elektrisch isolierte Fühlerhalter (51, 82, 52', 720', 71', 91', 92', 93') umfasst, die an dem zweiten Stützelement gestützt werden und wobei mehrere Fühler (53, 56, 54', 722', 94') in dem Fühlerhalter (51, 82, 52', 720', 71', 91', 92', 93') fest angebracht sind, wobei jeder der Fühler (53, 56, 54', 722', 94') eine Spitze aufweist, die unterhalb des Fühlerhalters (51, 82, 52', 720', 71', 91', 92', 93') hängt, und mehrere Signalleitungen (60, 62, 65, 90, 60', 65'), die zwischen den Prüfkontakten (41, 45, 70, 40', 45') der Leiterschicht (40, 45, 70, 40', 45') und den Fühlern der Prüfvorrichtung (3, 4, 5, 3', 4', 5') elektrisch verbunden sind, wobei sich die Signalleitungen durch die Lücken erstrecken, um die Fühler (53, 56, 54', 722', 94') der Fühleranordnung zu verbinden. |
