发明名称 Apparatus for processing glass substrate
摘要 유리 기판 가공 장치는 X축 방향을 따라 이동하며, 가공될 유리 기판을 및 가공이 완료된 유리 기판을 이송하는 이송부와, 상기 이송부의 이송 경로의 일측 또는 양측에 구비되어 상기 유리 기판에 대한 가공 공정을 수행하고, 상기 가공이 완료된 유리 기판을 상기 이송부로 전달하고 상기 가공될 유리 기판을 전달받기 위해 Y축 방향을 따라 상기 이송부까지 이동하는 스테이지를 각각 갖는 가공부들 및 상기 가공부들의 내부에 각각 구비되며, 상기 이송부로부터 상기 스테이지로 전달된 상기 가공될 유리 기판의 안착 상태를 확인하기 위한 카메라부들을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 이송부와 상기 카메라부들이 간섭없이 개별적으로 동작할 수 있다.
申请公布号 KR101607753(B1) 申请公布日期 2016.03.31
申请号 KR20140071393 申请日期 2014.06.12
申请人 주식회사 피디티 发明人 김성태;김기영;장성호
分类号 C03B23/023;C03B35/00 主分类号 C03B23/023
代理机构 代理人
主权项
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