具有加热器与快速温度变化的基板支撑件

摘要

本发明提供具有加热器与集成冷却器的基板支撑件的实施例。在某些实施例中，基板支撑件可包括：第一构件，当基板位于第一构件的第一表面上方时，第一构件用以散布热至基板；加热器，加热器设置于第一构件下，且加热器具有一或多个加热区域以提供热至第一构件；多个冷却通道，多个冷却通道设置于第一构件下，以移除加热器提供的热；多个基板支撑销，多个基板支撑销设置在高于第一构件的第一表面上第一距离处，当基板位于基板支撑件上时，多个基板支撑销用以支撑基板的背侧表面；及对准引导件，对准引导件自第一构件的第一表面延伸并围绕多个基板支撑销。

主权项

一种基板支撑件，包括：第一构件，当基板位于所述第一构件的第一表面上方时，所述第一构件用以散布热至所述基板；第二构件，所述第二构件设置在所述第一构件下；加热器，所述加热器设置于所述第二构件中，且所述加热器具有一或多个加热区域以提供热至所述第一构件；多个冷却通道，所述多个冷却通道设置于所述第一构件下以移除所述加热器提供的热；第三构件，所述第三构件具有中央开口并且设置在所述一或多个加热区域和所述多个冷却通道下；馈通组件，所述馈通组件耦接至所述第三构件靠近所述中央开口，其中所述馈通组件在所述第二构件的底表面与所述馈通组件的内表面之间形成空腔；多个基板支撑销，所述多个基板支撑销设置在所述第一构件的所述第一表面上的第一距离处，当基板位于所述基板支撑件上时，所述多个基板支撑销用以支撑所述基板的背侧表面；对准引导件，所述对准引导件自所述第一构件的所述第一表面延伸并围绕所述多个基板支撑销；及耦接元件，所述耦接元件耦接至所述第一构件和所述第三构件，并且所述耦接元件包括弹簧，以使所述第一构件、第二构件和第三构件朝彼此偏置，其中所述弹簧设置在由所述馈通组件形成的空腔中。