硅粉传输设备以及具有其的合成三氯氢硅的系统

摘要

本发明公开了硅粉传输设备以及具有其的合成三氯氢硅的系统。其中，硅粉传输设备包括：干燥罐和进料罐，干燥罐用于干燥硅粉；进料罐与干燥罐相连，并且进料罐适于向合成炉中供给硅粉，其中，进料罐包括：进料罐本体，进料罐本体内限定出硅粉容纳空间；第一氮气进料口，第一氮气进料口设置在进料罐本体上，用于向硅粉容纳空间中供给氮气；以及硅粉出口，硅粉出口设置在进料罐本体上，用于从硅粉容纳空间中排出硅粉。该硅粉传输设备简单，易操作，能够确保合成三氯氢硅系统稳定可靠的运行，并且提高合成效率。

主权项

一种硅粉传输设备，其特征在于，包括：干燥罐，所述干燥罐用于干燥所述硅粉；以及进料罐，所述进料罐与所述干燥罐相连，并且所述进料罐适于向合成炉中供给硅粉，其中，所述进料罐包括：进料罐本体，所述进料罐本体内限定出硅粉容纳空间；第一氮气进料口，所述第一氮气进料口设置在所述进料罐本体上，用于向所述硅粉容纳空间中供给氮气；以及硅粉出口，所述硅粉出口设置在所述进料罐本体上，用于从所述硅粉容纳空间中排出硅粉，其中，所述进料罐进一步包括：氮气进料控制组件，所述氮气进料控制组件与所述第一氮气进料口相连；以及第二阀门，所述第二阀门与所述硅粉出口相连，其中，所述第二阀门为单向阀门，进一步包括：第一过滤筒，所述第一过滤筒与所述进料罐相连，用于对从所述进料罐接收排出的氮气进行过滤。