| 发明名称 | 电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺，其特征在于：它包括下述步骤：第一步骤，选取耐高温石英片和单晶Si片作衬底，清洗吹干；第二步骤，将铁颗粒和硅颗粒按不同配比进行备料；第三步骤，按上述步骤得到的不同配比镀料，在衬底上蒸镀一层Fe-Si混合薄膜；第四步骤，将上述步骤得到的样品放置于高真空热处理炉中800～900℃退火2小时获得Fe-Si化合物中的金属相Fe3Si铁磁性薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN105441877A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201510905584.1 | 申请日期 | 2015.12.10 |
| 申请人 | 贵州大学 | 发明人 | 谢泉;谢晶;刘栋;高赐国;张晋敏;肖清泉;陈茜;廖杨芳;范梦慧;黄晋 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人 | 吴无惧 |
| 主权项 | 一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺，其特征在于：它包括下述步骤：第一步骤，选取耐高温石英片和单晶Si片作衬底，清洗吹干；第二步骤，将铁颗粒和硅颗粒按不同配比进行备料；第三步骤，按上述步骤得到的不同配比镀料，在衬底上蒸镀一层Fe‑Si混合薄膜；第四步骤，将上述步骤得到的样品放置于高真空热处理炉中800～900℃退火2小时获得Fe‑Si化合物中的金属相Fe3Si铁磁性薄膜。 | ||
| 地址 | 550025 贵州省贵阳市贵州大学花溪北校区科技处 | ||