| 发明名称 | 一种具有打码功能的曝光机 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种具有打码功能的曝光机，包括由光源、掩模、物镜、基板以及工件台组成的曝光系统，其特征在于：还包括打码系统，所述打码系统包括光源，打码系统固定模块，液晶数字显示掩模模块，打码位置调整模块以及编码、定位软件模块；所述打码系统与所述曝光系统同时工作。本发明的曝光机能在曝光的过程中同时进行每个曝光场边缘屏幕的打码，可明显为后续打码机缩短生产时间，以便整条产线提高产能，同时不改变产线设备的配置。 | ||
| 申请公布号 | CN105446083A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201410428551.8 | 申请日期 | 2014.08.28 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 李会丽;林彬;李志丹 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅 |
| 主权项 | 一种具有打码功能的曝光机，包括由光源、掩模、物镜、基板以及工件台组成的曝光系统，其特征在于：还包括打码系统，所述打码系统包括光源，打码系统固定模块，液晶数字显示掩模模块，打码位置调整模块以及编码、定位软件模块；所述打码系统与所述曝光系统同时工作。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||