发明名称 |
用于制造第13族氮化物晶体的方法和设备 |
摘要 |
一种方法用于通过助熔剂法制造第13族氮化物晶体。该方法包括:将种晶和含有碱金属或碱土金属和第13族元素的混合熔体置于反应容器中;以及使所述反应容器旋转以搅拌所述混合熔体。所述反应容器包括搅拌所述混合熔体的结构体。将多于一个种晶相对于所述反应容器的中心轴点对称地安置于除该中心轴以外的位置处,使得每个种晶的c平面均与所述反应容器的底部基本平行。将所述结构体相对于所述中心轴点对称地安置于所述反应容器的除中心轴以外的至少部分处。 |
申请公布号 |
CN105452545A |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201480044635.X |
申请日期 |
2014.08.05 |
申请人 |
株式会社理光 |
发明人 |
佐藤隆;皿山正二;林昌弘;和田纯一 |
分类号 |
C30B29/38(2006.01)I;C30B9/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/38(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
宋莉;肖靖泉 |
主权项 |
通过助熔剂法制造第13族氮化物晶体的方法,所述方法包括:将种晶和含有碱金属或碱土金属和第13族元素的混合熔体置于反应容器中;以及使所述反应容器旋转以搅拌所述混合熔体,其中所述反应容器包括搅拌所述混合熔体的结构体,将多于一个种晶相对于所述反应容器的中心轴点对称地安置于除所述中心轴以外的位置处,使得每个种晶的c平面均与所述反应容器的底部基本平行,以及将所述结构体相对于所述中心轴点对称地安置于所述反应容器的除所述中心轴以外的至少部分中。 |
地址 |
日本东京都 |