发明名称 |
固晶机 |
摘要 |
本发明涉及一种固晶机,包括:机台;基板安装机构,用于装载基板,所述基板安装机构设置于所述机台上;丝印机构,用于在所述基板上通过丝网印刷的方式印刷锡膏;半导体器件传送机构,用于装载半导体器件,设置于机台上,并位于基板安装机构的一侧;器件抓取机构,用于抓取所述半导体器件并将其放置于所述基板上,以使所述半导体器件通过所述锡膏与所述基板相固定。上述固晶机,通过在基板上丝印锡膏,通过锡膏来实现半导体器件与基板之间电极的金属键合,解决传统的固晶机胶量不好控制的问题,提高了产品的良率。并且,上述固晶机可自动识别基板及半导体器件,以精确地印刷锡膏,并精确抓取并固放半导体器件,进一步提高了产品的质量。 |
申请公布号 |
CN105448780A |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201510884941.0 |
申请日期 |
2015.12.04 |
申请人 |
大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族光电设备有限公司 |
发明人 |
李健;乔家平;罗诚;罗波;高云峰 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
何平 |
主权项 |
一种固晶机,其特征在于,包括:机台;基板安装机构,用于装载基板,所述基板安装机构设置于所述机台上;丝印机构,用于在所述基板上通过丝网印刷的方式印刷锡膏;半导体器件传送机构,用于装载半导体器件,所述半导体器件传送机构设置于机台上,并位于基板安装机构的一侧;及器件抓取机构,用于抓取所述半导体器件并将其放置于所述基板上,以使所述半导体器件通过所述锡膏与所述基板相固定。 |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦 |