MEASUREMENT SYSTEM FOR AVERAGE DISTANCE BETWEEN NANOSTRUCTURES

摘要

본 발명은, 나노구조체를 형성하여도 나노구조체들 간의 평균 간격을 측정하는 시스템을 제공하고자 한다. 본 발명은, 나노구조체가 형성된 기판에 대해 레이저 광을 조사하여, 나노구조체들에 의해 회절 된 빔을 광학계에서 집속 하고, 회절 무늬를 이미지센서(400)로 촬영하여 상기 이미지센서(400)에 나타난 회절 무늬 간격으로부터 나노구조체의 평균 간격을 계산하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체들 간의 평균 간격 측정 시스템을 제공한다.