| 发明名称 | 靶材加工设备以及加工方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种靶材加工设备以及加工方法，其中加工设备包括：铣切设备，用于铣切靶材表面以形成所述密封槽，所述铣切设备包括具有回转中心轴的铣刀，所述铣刀能够绕所述回转中心轴自转，并沿预设轨迹移动；所述铣刀包括体部以及设于所述体部一端用于铣切靶材的铣切部。所述加工方法包括：提供待加工靶材；提供铣切设备，以在所述待加工靶材表面形成密封槽。本发明的有益效果在于：可以形成任何形状的密封槽，具有较强的灵活性。 | ||
| 申请公布号 | CN105436585A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201410371498.2 | 申请日期 | 2014.07.30 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;周建军 |
| 分类号 | B23C3/28(2006.01)I;B23C3/34(2006.01)I | 主分类号 | B23C3/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 高静;骆苏华 |
| 主权项 | 一种靶材加工设备，用于在靶材表面形成密封槽，其特征在于，包括：铣切设备，用于铣切靶材表面以形成所述密封槽；所述铣切设备包括具有回转中心轴的铣刀，所述铣刀能够绕所述回转中心轴自转，并沿预设轨迹移动；所述铣刀包括体部以及设于所述体部一端用于铣切靶材的铣切部。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 | ||