主权项 |
一种基于径向偏振光束的双加工头激光加工装置,包括光束会聚部件(3)、高反射腔镜(4)、第一反射镜(5)、固态增益介质元件(6)、圆形型光泵浦源(7)、第二反射镜(8)、圆锥面光场回返元件(9),其特征在于:所述固态增益介质元件为平板结构,所述固态增益介质元件(6)外侧设置有圆形型光泵浦源(7),圆形型光泵浦源(7)出射的泵浦光照射在固态增益介质元件(6)内;所述固态增益介质元件(6)的内侧光路上依次设有第一反射镜(5)和高反射腔镜(4),固态增益介质元件(6)外侧光路上依次设有第二反射镜(8)和圆锥面光场调节元件(9);所述高反射腔镜(4)和圆锥面光场调节元件(9)构成激光谐振腔,所述第一反射镜(4)和第二反射镜(8)用于改变激光谐振腔内光场传播方向,使高反射腔镜(4)和圆锥面光场调节元件(9)朝向被加工物品;高反射腔镜(4)的相对于第一反射镜(5)的另一侧光路上设置有光束会聚部件(3),使径向偏振光束在光束会聚部件(3)焦点区域形成高质量远场激光加工光场(2);所述圆锥面光场调节元件(9)为轴对称棱镜结构,一端为顶端圆锥曲面(901),一端为垂直于对称轴的顶端平面(903),在圆锥曲面(901)和顶端平面(903)之间为圆环形圆锥曲面(902),沿着对称轴方向的切面剖物面为轴对称五边形;圆锥面光场调节元件(9)的顶端圆锥曲面(901)朝向第二反射镜(8),圆锥面光场调节元件(9)的顶端圆锥曲面(901)与对称轴的夹角为激光工作波长的布鲁斯特角,实现腔内径向偏振矢量光束产生,平行光轴光场在圆锥面光场调节元件(9)的顶端平面(903)发生反射,在圆锥面光场调节元件(9)的顶端平面(903)外侧形成近场激光加工光场(10)。 |