在筒形部件内壁上形成涂层的装置和方法

摘要

一种在筒形部件内壁上形成涂层的电镀装置和方法，筒形部件具有导电性并包括环形的主体部、以及位于所述主体部的相对两端的开口，电镀装置包括：两个绝缘封盖，分别安装在筒形部件的两个开口上，以与主体部一起形成用于容纳电镀液的封闭的容器，在两个绝缘封盖上分别设有用于向容器输送电镀液的入口和用于从容器排出电镀液的出口；电极棒，电极棒的两端分别能够旋转地安装在绝缘封盖上，使得电极棒与筒形部件形成电极对；电源，电源的两个电极分别电连接至电极棒和筒形部件；以及电镀液循环系统，通过入口和出口与容器连通，以驱动所述电镀液循环流动。利用筒形部件的本身作为容纳电镀液的容器，不需要专门的电镀槽。

主权项

一种在筒形部件(4)内壁上形成涂层的电镀装置，所述筒形部件具有导电性并包括环形的主体部、以及位于所述主体部的相对两端的开口，所述电镀装置包括：两个绝缘封盖(1)，分别安装在所述筒形部件的两个开口上，以与所述主体部一起形成用于容纳电镀液的封闭的容器，在两个所述绝缘封盖上分别设有用于向所述容器输送电镀液的入口(2)和用于从所述容器排出电镀液的出口(7)；电极棒(5)，所述电极棒的两端分别能够旋转地安装在所述绝缘封盖上，使得所述电极棒与所述筒形部件形成电极对；电源(12)，所述电源的两个电极分别电连接至所述电极棒和所述筒形部件；以及电镀液循环系统，通过所述入口和出口与所述容器连通，以驱动所述电镀液循环流动。