一种高NA投影物镜

摘要

本发明提出了一种高NA投影物镜，用于将掩膜面的图像成像到硅片面内。该高NA投影物镜，由第一单元、第二单元、第三单元、第四单元、第五单元、第六单元、第七单元、第八单元、第九单元和第十单元组成。其中第一单元L1、第二单元L2、第三单元L3、第五单元L5、第八单元L8具有正光焦度，第七单元L7、第九单元L9、第十单元L10具有负光焦度，第四单元L4、第六单元L6为45°放置的平面反射镜。本发明的高NA投影物镜可将物成缩小1/4的像，具有数值孔径大，分辨力高，结构紧凑，成像质量好等优点。

主权项

一种高NA投影物镜，从物侧到像侧依次包括第一单元(L1)、第二单元(L2)、第三单元(L3)、第四单元(L4)、第五单元(L5)、第六单元(L6)、第七单元(L7)、第八单元(L8)、第九单元(L9)和第十单元(L10)，其特征在于，第一单元(L1)具有正光焦度，第二单元(L2)具有正光焦度，第三单元(L3)具有正光焦度，第四单元(L4)为45°放置的平面反射镜，第五单元(L5)具有正光焦度，第六单元(L6)为45°放置的平面反射镜，第七单元(L7)具有负光焦度，第八单元(L8)具有正光焦度，第九单元(L9)具有负光焦度，第十单元(L10)具有负光焦度；第一单元(L1)包括第一正透镜(1)、第二正透镜(2)、第一负透镜(3)和第三正透镜(4)；第二单元(L2)包括第四正透镜(5)和第二负透镜(6)；第三单元(L3)包括第五正透镜(7)，第六正透镜(8)和第七正透镜(9)；第四单元(L4)包括第一平面反射镜(10)；第五单元(L5)包括第三负透镜(11)，第四负透镜(12)，第八正透镜(13)和第一曲面反射镜(14)；第六单元(L6)包括第二平面反射镜(18)；第七单元(L7)包括第五负透镜(19)，第六负透镜(20)和第七负透镜(21)；第八单元(L8)包括第九正透镜(22)，第十正透镜(23)和第八负透镜(24)；第九单元(L9)包括第九负透镜(25)，第十负透镜(26)，第十一负透镜(27)，第十二负透镜(28)；第十单元(L10)包括第十三负透镜(29)，第十四负透镜(30)，第十五负透镜(31)；第一单元(L1)、第二单元(L2)、第三单元(L3)、第四单元(L4)、第五单元(L5)、第六单元(L6)、第七单元(L7)、第八单元(L8)、第九单元(L9)和第十单元(L10)内的光学元件都是单片镜。