基板处理装置和基板载置单元的制造方法

摘要

本发明提供基板处理装置和基板载置单元的制造方法。该基板处理装置包括：处理室；基座；固定轴，其贯穿该基座；第1固定构件，其供该固定轴插入嵌合，用于自上表面侧固定基座；第2固定构件，其供固定轴插入嵌合，用于自下表面侧固定基座；施力部件，其设置在比基座靠下方的区域，对固定轴朝下施力并对第2固定构件朝上施力，该施力部件借助第2固定构件自下表面侧固定基座；以及卡定构件，其设置在比基座靠上方的区域，该卡定构件与固定轴相卡合并与施力部件协同动作而按压第1固定构件，从而借助第1固定构件自上表面侧固定基座，基座、第1固定构件以及卡定构件由对腐蚀性气体的耐腐蚀性高于施力部件的材料构成。

主权项

一种基板处理装置，其中，该基板处理装置包括：处理室，在成膜工艺之后，能够对该处理室供给腐蚀性气体而对处于该处理室的内部的膜进行蚀刻处理；基座，其设置在该处理室内，在该基座的上表面上具有能够载置基板的基板载置部，自比该上表面靠上方的区域向该基座供给所述腐蚀性气体；固定轴，其贯穿该基座；第1固定构件，其供该固定轴插入嵌合，用于自所述上表面侧固定所述基座；第2固定构件，其供所述固定轴插入嵌合，用于自下表面侧固定所述基座；施力部件，其设置在比所述基座靠下方的区域，对所述固定轴朝下施力并对所述第2固定构件朝上施力，该施力部件借助所述第2固定构件自所述下表面侧固定所述基座；以及卡定构件，其设置在比所述基座靠上方的区域，该卡定构件与所述固定轴相卡合并与所述施力部件协同动作而按压所述第1固定构件，从而借助所述第1固定构件自所述上表面侧固定所述基座，所述基座、所述第1固定构件以及所述卡定构件由对所述腐蚀性气体的耐腐蚀性高于所述施力部件的对所述腐蚀性气体的耐腐蚀性的材料构成。