| 发明名称 | TFT阵列基板检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种TFT阵列基板检测方法，通过拉曼光谱仪对所述TFT阵列基板进行检测，根据拉曼特征峰确定TFT阵列基板上的各物质的类型、组成、结晶质量和物质含量范围，从而确定TFT阵列基板的检测区内是否存在污染物、污染物的成分、晶体生长的质量及纯净程度，该检测方法耗时短、条件简单、灵敏度高，能够精确检测TFT阵列基板上的污染物的成分和来源，实时监控晶体生长的质量，提高TFT阵列基板洁净度，改善成膜质量，减少制程不良。 | ||
| 申请公布号 | CN105445978A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201610056885.6 | 申请日期 | 2016.01.27 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 郑俊丰 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I;G01N21/65(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种TFT阵列基板检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供一TFT阵列基板(11)，所述TFT阵列基板(11)设有检测区(13)；步骤2、提供一拉曼光谱仪，所述拉曼光谱仪发出激光照射所述TFT阵列基板(11)的检测区(13)；步骤3、提供一分析设备，所述拉曼光谱仪接收检测区(13)各物质的拉曼信号并传递给分析设备，所述分析设备根据各物质的拉曼信号的拉曼特征峰分析所述TFT阵列基板(11)的检测区(13)内的各物质的类型、组成、结晶质量和物质含量范围。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||