| 发明名称 | 用于热处理腔室的支撑圆柱 | ||
| 摘要 | 本公开内容的实施方式大体涉及用于热处理腔室中的支撑圆柱。在一个实施方式中，支撑圆柱包括具有内周表面和外周表面的环形主体，其中环形主体包括不透明石英玻璃材料且其中环形主体被光学透明层涂布。光学透明层具有与不透明石英玻璃材料实质匹配或相似的热膨胀系数以减少热膨胀不匹配，热膨胀不匹配可在高热负载下产生热应力。在一个实例中，不透明石英玻璃材料是合成黑石英且光学透明层包括透明熔融石英材料。 | ||
| 申请公布号 | CN105453248A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201480043642.8 | 申请日期 | 2014.06.12 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 梅兰·贝德亚特;阿伦·缪尔·亨特;约瑟夫·M·拉内什;诺曼·L·塔姆;杰弗里·托宾;继平·李;马丁·德兰 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
| 主权项 | 一种用于热处理腔室的支撑圆柱，包括：环形主体，所述环形主体具有内周表面和平行于所述内周表面的外周表面；和平坦表面，所述平坦表面从所述外周表面往所述内周表面径向延伸，其中所述环形主体包括不透明石英玻璃材料且所述环形主体被光学透明层涂布。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||