| 发明名称 | 一种扩散用的石英舟 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种扩散用的石英舟，包括舟架和横梁，舟架与横梁固定连接，横梁上设有用于放置硅片的插槽和隔离硅片的凸片，位于横梁左侧和中部的凸片的宽度小于位于横梁右侧凸片的宽度。与现有技术相比，本实用新型通过设置位于横梁左侧和中部的凸片的宽度小于位于横梁右侧凸片的宽度，使横梁右侧相邻凹槽内的硅片间距增大，可以提高工艺气体在舟尾处(即横梁右侧)的流动性，从而提高舟尾处硅片的方阻均匀性以及整舟硅片的片间方阻均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN205122616U | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201520797178.3 | 申请日期 | 2015.10.14 |
| 申请人 | 广东爱康太阳能科技有限公司 | 发明人 | 方结彬;秦崇德;石强;黄玉平;何达能;陈刚 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 佛山市中迪知识产权代理事务所(普通合伙) 44283 | 代理人 | 张伶俐 |
| 主权项 | 一种扩散用的石英舟，包括舟架和横梁，舟架与横梁固定连接，横梁上设有用于放置硅片的插槽和隔离硅片的凸片，其特征在于，位于横梁左侧和中部的凸片的宽度小于位于横梁右侧凸片的宽度。 | ||
| 地址 | 528100 广东省佛山市三水工业园区C区69号 | ||