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Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drucksensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drucksensorvorrichtung umfasst ein erstes Substrat (W1) mit einer ersten Vorderseite (V1) und einer ersten Rückseite (R1), eine in dem ersten Substrat (W1) ausgebildete Wanne (WA), wobei in der Wanne (WA) eine erste Elektrode (E3) ausgebildet ist, welche sich über die Wanne (WA) hinaus in eine Peripherie der Wanne (WA) auf der erste Vorderseite (V1) erstreckt. Weiterhin umfasst sie ein zweites Substrat (W2) mit einer zweiten Vorderseite (V2) und einer zweiten Rückseite (R2), eine in dem zweiten Substrat (W2) ausgebildete erste Durchgangsöffnung (V3), wobei die erste Durchgangsöffnung an der zweiten Vorderseite (V2) von einem membranartigen ersten Widerstandsbereich (R3) überspannt ist. Die erste Vorderseite (V1) und die zweite Vorderseite (V2) sind derart über eine Bondverbindung (B1, B2) miteinander verbunden sind, dass der erste Widerstandsbereich (R3) die erste Elektrode (E3) zum Bilden einer Kaverne (K) mit vorbestimmter Druckatmosphäre verschließt und in der Peripherie der Wanne (WA) die erste Elektrode (E3) elektrisch kontaktiert. Der erste Widerstandsbereich (R3) ist durch Anlegen von Druck (P) durch die Durchgangsöffnung (V3) in die Wanne (WA) auslenkbar, so dass er die erste Elektrode (E3) innerhalb der Wanne (WA) elektrisch kontaktiert. |
