用于线性输送的基底的可变的加热或冷却的动力系统

摘要

本发明涉及用于线性输送的基底的可变的加热或冷却的动力系统。提供了系统(100)，用于加热或冷却分立的、线性输送的基底(108)，其在第一基底的后缘(112)和输送方向上的下一基底的前缘(110)之间具有间隙(114)。该系统包括腔室(102)和可操作地配置在腔室内用于以输送速率移动基底的输送器(132)。多个单独控制的温度控制单元(116)，例如加热或冷却单元，沿着输送方向线性地设置在腔室内。控制器(118)与各个温度控制单元(116)通信而按照腔室内的基底的前缘和后缘相对于温度控制单元的位置的函数使来自稳态温度输出的单元的输出沿着输送方向连续地循环，以减少基底中的边缘引起的温度差异。

主权项

一种系统(100)，用于分立的线性输送的基底(108)的可变的加热或冷却，其补偿所述基底中的边缘引起的温度差异，所述系统包括：腔室(102)；所述腔室内的输送器(132)，用于以输送速率移动所述基底通过所述腔室，相对于通过所述腔室的输送方向(128)，所述基底具有前缘(110)和后缘(112)；多个单独控制的温度控制单元(116)，沿着所述输送方向线性地设置在所述腔室内；以及，与所述温度控制单元通信的控制器(118)，所述控制器配置成按照所述腔室内的所述基底的所述前缘和后缘相对于所述温度控制单元的位置的函数使来自稳态温度输出的所述温度控制单元的输出沿着所述输送方向连续地循环，以减少所述基底中的边缘引起的温度差异。