一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法

摘要

本发明公开了一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法，包括以下步骤：（1）测量空载谐振频率；（2）构筑首尾相接的封闭微围墙，将压电薄膜体声波谐振器的表面进行包围；（3）在微围墙包围的区域内注入盐溶液；（4）挥发盐溶液；（5）测量挥发后谐振频率；（6）清洗微围墙包围区域；（7）改变注入盐溶液的参数，得到多组液体全部挥发后器件的谐振频率；（8）计算质量灵敏度的值。通过盐溶液中的全部溶质完全沉淀在压电薄膜体声波谐振器的表面得到可精确控制的质量负载密度，从而大幅度提高所测量的质量灵敏度的准确程度，并且测量过程对器件本身没有破坏性。

主权项

一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)测量压电薄膜体声波谐振器在未施加任何质量负载情况下的空载谐振频率；(2)在压电薄膜体声波谐振器周围构筑首尾相接的封闭微围墙，将压电薄膜体声波谐振器的表面进行包围，微围墙所围的平面面积为A；(3)在微围墙包围的区域内注入盐溶液，所注入盐溶液参数：浓度为C，体积为V，密度为P；(4)将注入盐溶液的器件置于恒温空气环境下，直至微围墙包围区域内的液体全部挥发；(5)测量液体全部挥发后器件的谐振频率；(6)清洗微围墙包围区域；(7)改变注入盐溶液的参数，重复步骤(3)至(6)，得到多组液体全部挥发后器件的谐振频率；(8)计算质量灵敏度的值。