灵活配置寄存器的半导体工艺方法及系统

摘要

本发明提供一种灵活配置寄存器的半导体工艺方法及系统。其中方法包括以下步骤：预先在晶圆加工路径中对寄存器进行配置；对待进行工艺加工的晶圆选定晶圆加工路径；判断选定的晶圆加工路径是否配置了寄存器，得到判断结果；根据判断结果进行相应的工艺加工。其在晶圆加工路径中对寄存器是否使用进行配置，不将寄存器与某个加载器关联起来，对寄存器的使用进行随机分配，提高了应用寄存器进行工艺加工的灵活性，降低工艺加工的等待时间，提高生产效率。

主权项

一种灵活配置寄存器的半导体工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：预先在晶圆加工路径中对寄存器进行配置；对待进行工艺加工的晶圆选定晶圆加工路径；判断选定的晶圆加工路径是否配置了所述寄存器，得到判断结果；根据所述判断结果进行相应的工艺加工。