| 发明名称 | 清洁方法和清洁装置 | ||
| 摘要 | 公开了一种清洁装置和清洁方法。清洁装置(500)并行清洁包括多个槽(202)的槽阵列(200)，其包括：清洁托盘(502)，被配置有多个孔径(5022)；以及清洁单元(504)，被放置于所述多个孔径(5022)中的至少一个，所述清洁单元(504)具有基板(5042)和固定到基板(5042)的清洁介质(5044)。清洁介质(5044)由有粘性的弹性体材料构成。根据本技术，可高效地并行清洁多个槽上的污染物，尤其是对具有橡胶插脚的槽。 | ||
| 申请公布号 | CN105448773A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201410428997.0 | 申请日期 | 2014.08.27 |
| 申请人 | 晟碟半导体（上海）有限公司 | 发明人 | 张志杰;杨波;田富槐;顾剑斌;吴明霞;K.L.博克 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 万里晴 |
| 主权项 | 一种用于并行清洁包括多个槽(202)的槽阵列(200)的清洁装置(500)，包括：清洁托盘(502)，被配置有多个孔径(5022)；以及清洁单元(504)，被放置于所述多个孔径(5022)中的至少一个，所述清洁单元(504)具有基板(5042)和固定到基板(5042)的清洁介质(5044)，其中，所述清洁介质(5044)由有粘性的弹性体材料构成。 | ||
| 地址 | 200241 中国上海市闵行区江川东路388号 | ||