发明名称 | 吹扫装置以及吹扫方法 | ||
摘要 | 本发明目的在于,确保作业人员的安全并且将停止吹扫的范围限制在最小限度。将装置的内部空间分割成作业区域和非作业区域,停止作业区域中的向物品的吹扫,并继续进行非作业区域中的向物品的吹扫。测量作业区域内的氧浓度,若作业区域内的氧浓度降低到规定值以下,则停止非作业区域中的向物品的吹扫。 | ||
申请公布号 | CN105453247A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
申请号 | CN201480045357.X | 申请日期 | 2014.07.17 |
申请人 | 村田机械株式会社 | 发明人 | 村田正直;德本光哉;山路孝;安达成人 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 舒艳君;田军锋 |
主权项 | 一种吹扫装置,该吹扫装置利用吹扫气体对从外部向吹扫装置的内部空间供给的多个物品进行吹扫,其特征在于,具备:设定部,该设定部设定用于作业人员进行作业的作业区域,以便将吹扫装置的内部空间分割成作业区域和非作业区域;吹扫气体控制机构,该吹扫气体控制机构控制吹扫气体的供给,以便停止所述作业区域中的向物品的吹扫、继续进行非作业区域中的向物品的吹扫;以及氧浓度测量单元,该氧浓度测量单元测量作业区域内的氧浓度,并且,所述吹扫气体控制机构构成为若作业区域内的氧浓度降低到规定值以下,则停止非作业区域中的向物品的吹扫。 | ||
地址 | 日本京都府 |