发明名称 |
可抑制激光漂移和表面倾斜的对称式激光位移传感器 |
摘要 |
本发明提出一种可抑制激光漂移和表面倾斜的对称式激光位移传感器,它由发射镜组、激光二极管、外壳、处理电路、电缆、光电器件、反射镜、接收镜组、滤光片等部分组成。该激光位移传感器具有两个接收镜组,将一个测量光斑形成两个成像,再通过两个反射镜投向同一个光电器件上,同时产生两个成像波形。采用两个成像波形相对于光电器件中点的位置的平均值作为位移测量结果,可以消除激光指向性的漂移或被测目标表面倾斜产生的位置偏移量。 |
申请公布号 |
CN105444679A |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201510774687.9 |
申请日期 |
2015.11.14 |
申请人 |
上海砺晟光电技术有限公司 |
发明人 |
不公告发明人 |
分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种可抑制激光漂移和表面倾斜的对称式激光位移传感器,它由发射镜组、激光二极管、外壳、处理电路、电缆、光电器件、反射镜、接收镜组、滤光片等部分组成,其特征在于,本发明的激光位移传感器具有两个接收镜组,将一个测量光斑形成两个成像,再通过两个反射镜投向同一个光电器件上,可以有效抑制激光指向性的漂移,同时可以消除被测目标表面倾斜的影响。 |
地址 |
200241 上海市闵行区东川路555号紫竹数码信息港6-205室 |