一种用于石墨热场表面的复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于石墨热场表面的复合涂层，由内层SiC层和外层Si₃N₄薄膜组成，其特征在于SiC层厚度为10-100μm，Si₃N₄薄膜厚度为10-100nm。其具体制备步骤包括：（1）以石墨发热体加热炉体作为沉积炉，将其抽真空，真空度达到100Pa以下；（2）将石墨发热体加热炉内温度升高至900～1200℃；（3）以甲烷作为碳源，四氯化硅作为硅源，同时通入氢气和氩气，反应时间为10-30h后，停止通入甲烷、四氯化硅、氢气和氩气；（4）将石墨发热体加热炉内温度升高至1200～1500℃，通入氨气作为氮源，继续沉积1～10h，随后降温冷却，石墨热场材料表面出现SiC/Si₃N₄复合涂层。本发明制备SiC涂层质量好，涂层制备过程不需要专用化学气相沉积设备，成本低，涂层厚度大且灵活可控且易于清理。

主权项

一种用于石墨热场表面的复合涂层，由内层SiC层和外层Si₃N₄薄膜组成，其特征在于SiC层厚度为10‑100μm，Si₃N₄薄膜厚度为10‑100nm。