| 发明名称 | 用于刻划碳化硅板的方法和设备 | ||
| 摘要 | 刻划设备包括：水平工作台(3)，碳化硅板(2)在真空抽吸作用下固定在该水平工作台(3)上；进给螺纹(5)和Y轴控制电动机(6)，该进给螺纹(5)和Y轴控制电动机(6)用于使水平工作台(3)在刻划数字控制下沿着成对引导轨道(4、4)移动；引导轨道装置本体(7)，该引导轨道装置本体(7)沿着X轴方向安装在水平工作台(3)上方；支架(8)，该支架(8)安装在引导轨道装置本体(7)上，以便在被引导的同时沿X轴方向移动；进给螺纹和X轴控制电动机(9)，该进给螺纹和X轴控制电动机(9)用于使支架(8)在数字控制下沿X轴方向移动；以及刻划头部(10)，该刻划头部(10)安装在支架(8)上。 | ||
| 申请公布号 | CN105437390A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201510788981.5 | 申请日期 | 2011.01.07 |
| 申请人 | 坂东机工株式会社 | 发明人 | 坂东和明 |
| 分类号 | B28D5/00(2006.01)I | 主分类号 | B28D5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 胡晓萍 |
| 主权项 | 一种碳化硅板刻划方法，所述方法包括如下步骤：首先在刻划开始时在刻划起始点处刻划出凹痕；以及从所述凹痕内开始刻划。 | ||
| 地址 | 日本德岛县 | ||