发明名称 脱模片及使用其的背衬片叠层体
摘要 本发明提供一种脱模片,其对背衬片叠层体赋予硬挺度,可以提高背衬片叠层体的适用性,且在背衬片叠层体进行卷绕时,不会在背衬片的表面产生背衬片叠层体的卷绕始端引起的凹陷。本发明的脱模片可剥离地配置在叠层一体化于背衬片上的粘合剂层上而使用,所述背衬片介于被研磨物和台板之间而使用,其特征在于,所述脱模片为矩形且宽度为2.4m以上,整体的厚度为190μm以下,其包含:片材主体、和叠层一体化于所述片材主体的两个表面的脱模剂层,所述片材主体包含厚度为10~60μm的聚酯类树脂膜及叠层一体化于所述聚酯类树脂膜上的纸基材。
申请公布号 CN105451989A 申请公布日期 2016.03.30
申请号 CN201480043497.3 申请日期 2014.09.04
申请人 积水化学工业株式会社 发明人 酒井贤司;松井梨绘
分类号 B32B27/00(2006.01)I;B24B37/30(2006.01)I;B32B27/10(2006.01)I;B32B27/36(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 主分类号 B32B27/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 张涛
主权项 一种脱模片,其可剥离地配置在叠层一体化于背衬片上的粘合剂层上而使用,所述背衬片介于被研磨物和台板之间而使用,所述脱模片为矩形且宽度为2.4m以上,整体的厚度为190μm以下,其包含:片材主体、和叠层一体化于所述片材主体的两个表面的脱模剂层,所述片材主体包含厚度为10~60μm的聚酯类树脂膜及叠层一体化于所述聚酯类树脂膜上的纸基材。
地址 日本大阪府