氯硅烷提纯方法

摘要

本发明公开了氯硅烷提纯方法，包括：（1）将第一至第五氯硅烷进行第一至第五精馏提纯得到第一至第五塔顶蒸汽和第一至第五塔底液；（2）将第一塔顶蒸汽进行冷凝处理得到第一氯硅烷冷凝液，将第一氯硅烷冷凝液的一部分返回至第一精馏塔内；（3）将第一至第五塔底液进行第一至第五再沸处理得到第一至第五再沸蒸汽，并将第一至第五再沸蒸汽返回至第一至第五精馏塔内；以及（4）将第二至第五塔顶蒸汽用于第一至第四再沸处理并得到第二至第五氯硅烷冷凝液。与简单耦合精馏工艺相比，本发明的五塔连续耦合节能效果更明显，能耗降低80%，解决了多晶硅系统中提纯工序高能耗的问题，进而降低了生产成本。

主权项

一种氯硅烷提纯方法，其特征在于，包括：(1)将第一至第五氯硅烷分别对应地在第一至第五精馏塔内进行第一至第五精馏提纯，以便分别得到第一至第五塔顶蒸汽和第一至第五塔底液；(2)将所述第一塔顶蒸汽在冷凝器内进行冷凝处理，以便得到第一氯硅烷冷凝液，以及将所述第一氯硅烷冷凝液的一部分返回至所述第一精馏塔内；(3)将所述第一至第五塔底液的一部分分别对应地在第一至第五再沸器内进行第一至第五再沸处理，以便得到第一至第五再沸蒸汽，并将所述第一至第五再沸蒸汽分别对应地返回至所述第一至第五精馏塔内；以及(4)将所述第二至第五塔顶蒸汽分别对应地返回至步骤(3)中依次用于所述第一至第四再沸处理，以便分别得到第二至第五氯硅烷冷凝液，以及将所述第二至第五氯硅烷冷凝液的一部分分别对应地返回至所述第二至第五精馏塔内，其中，用于分别进行所述第一至第五精馏提纯的所述第一至第五精馏塔中，所述第一精馏塔的塔釜与第二精馏塔的塔顶温差为8‑12摄氏度，所述第二精馏塔的塔釜与第三精馏塔的塔顶温差为8‑12摄氏度，所述第三精馏塔的塔釜与第四精馏塔的塔顶温差为8‑12摄氏度，所述第四精馏塔的塔釜与第五精馏塔的塔顶温差为8‑12摄氏度，所述第一至第五精馏塔中，每个精馏塔的塔顶与塔底的压差为0.01～0.06MPa。