| 摘要 |
【課題】製造コストを抑えつつ、広いエネルギー帯域のＸ線を検出できるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置は、Ｘ線照射器、ラインセンサ組立体１４などを備える。ラインセンサ組立体１４は、複数の検出ユニット４１等を有する。検出ユニット４１は、シンチレータ５３と、その上に配置される複数の素子を含む検出本体５２と、それらを支えるセラミック基板５１とを有する。ラインセンサ組立体１４において、検出ユニット４１等のシンチレータ５３および検出本体５２が、隣接する検出ユニットのシンチレータ５２および検出本体５３に、隙間なく並ぶように、複数の検出ユニット４１等が前後方向に並べられる。【選択図】図５ |
